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  • 名称: 氦质谱检漏仪
  • 发布时间 : 2014-11-26 09:51:45

氦质谱检漏仪
[ZLS-25D/M、ZLS-25D/T]



ZLS-25D/M、ZLS-25D/T型氦质谱检漏仪是一种全功能氦质谱检漏仪,与我厂生产的扩散泵型仪器相比,采用了德国莱宝的涡轮分子泵作仪器的高真空机组,优化了真空系统及控制阀门的设计,显示部分采用了嵌入式工控计算机,微机系统控制。适用于生产线上对大批量零件的检漏(喷氦法或背压法),也可用吸枪作吸氦法检漏。


主要特点:
1.1 微机系统控制,人机对话方式操作
1.2 7英寸触摸式液晶显示屏,大字符漏率显示,
   漏率直读,四种常用漏率单位转换
1.3 自动扫描氦峰,具有图形显示和保存功能
1.4 动态清除本底
1.5 检漏过程曲线显示
1.6 检漏数据保存功能
1.7 声讯报警,报警点可程序设置
1.8 自带一套辅助系统,可作喷氦法、吸氦法和背压法检漏
1.9 进口涡轮分子泵
主要技术参数:
2.1 仪器最小可检漏率:优于 5×10-12Pa·m3/s
2.2 仪器的反应时间:不大于3s
2.3 仪器质谱室允许工作的最高压强:1×10-2 Pa
2.4 仪器测试口允许工作的最高压强:1000Pa
2.5 被检件由粗抽至检漏的自动切换点(检漏点)可调范围:40~10-1Pa

主要部件配置:
3.1 涡轮分子泵   德国莱宝   1台
3.2 前级泵       国产       1台
3.3 粗抽泵       国产       1台
3.4 质谱分析室  成都仪器厂  1套
3.5 校准漏孔(带检定证书)  1支